乍一看光刻技術和蝕刻機很接近,可是光刻技術和蝕刻機卻不混為一談,由於刻蝕僅僅製造芯片(piàn)其(qí)中之一的步驟而(ér)已。而(ér)刻蝕機隻不過是眾多芯片製(zhì)造設備其中之(zhī)一。下邊在這(zhè)裏給大家聊一下蝕刻機(jī)。
蝕刻機和(hé)光刻技術其實也就是截然不同的二種機器設備,不論從作用或是在結構上而言都是天壤之別,光刻(kè)技術是(shì)芯片製(zhì)造過程裏為中心的機器設備(bèi),芯片製(zhì)造是通過光刻技術所決定的(de),而非蝕刻(kè)機。
從原理來(lái)看光刻技術和蝕刻機。
如果將(jiāng)製造芯片比作建房子,那樣光刻技術的作用是(shì)把房子的結(jié)構標明在地板上。蝕刻機便是(shì)在光刻技術(shù)進行之(zhī)後才登場的機器設備,都是光刻技術進行之後尤為(wéi)重要的機器設備(bèi)之一。蝕刻機主要的的作用是依照光刻技術早已標明好的(de)線去做基礎建設,把沒有用的地(dì)區給清理掉,隻留光刻技術環節中標(biāo)明好(hǎo)一點的路線(xiàn)。
從在(zài)結構上看來光刻技術和蝕(shí)刻機。
光刻技術的重要的關鍵技術便是燈源和激光光路,其燈(dēng)源和激(jī)光光路(lù)的重要構成部分有(yǒu)四個,燈源、曝出(chū)、檢(jiǎn)驗、和其它高精(jīng)密機(jī)械(xiè)製造構成。對比(bǐ)下,蝕刻機的構造構成就需要簡單(dān)一些,通常是等離子頻射源、反映室和真氣體路等構成。