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13933151511大夥兒應當都(dōu)了解,在生產製造處理芯片的情況下,有兩個大中型機器(qì)設備,一個是光刻技術,此外一個便是蝕刻機,那麼有的盆友便會問,什麽叫(jiào)光(guāng)刻技術,什麽叫蝕刻(kè)機(jī),它倆究竟有什麽差別呢?今(jīn)日我們就跟大夥兒好好說(shuō)說哈,當期知(zhī)識要點很聚集(jí),大夥兒都聽好了哈。
這倆(liǎng)設備簡易的表述便是光刻技術(shù)把原理圖投射(shè)到遮蓋有光刻技術的單晶矽片上邊,刻蝕(shí)機再把剛(gāng)剛(gāng)畫了原理圖的單晶矽(guī)片(piàn)上的不必要原理(lǐ)圖浸蝕掉,那樣看上去好像沒有什麽難的(de),可是(shì)有一個品牌形象的形容,每一塊處理芯片上邊的電源電路構造變大成(chéng)千上(shàng)萬倍看來比全部北京市都(dōu)繁雜,這就是這光刻技術和蝕刻的難度係數(shù)。
光刻(kè)技術的全過程就是目前製做好的矽圓表層(céng)塗上一層光(guāng)刻技術(一種能夠被(bèi)光(guāng)浸蝕的膠狀(zhuàng)物化(huà)學物質),接下去根據(jù)光源(加工工藝難度係數紫外線<深紫(zǐ)外線<極紫外線)通(tōng)過掩膜照射矽圓表(biǎo)層(相近投射(shè)),由於光刻技術的(de)遮蓋,照射的一部分被浸(jìn)蝕掉(diào),沒有陽光照射的一部分被留下,這些就(jiù)是必須的電源電路構造。
蝕刻分成二種,一種是幹刻,一(yī)種是(shì)濕(shī)刻(現階段流行),說白了,濕刻便是全過(guò)程中(zhōng)有冰添加,將(jiāng)上邊曆經光刻技術(shù)的圓晶與特殊的化學溶液反(fǎn)映,除掉不用(yòng)的(de)一部分,剩餘(yú)的就是電(diàn)源電路(lù)構造了,幹刻現階段都還沒(méi)完成商(shāng)業服務批量生產(chǎn),其基本原理是根據等離(lí)子技術替代化學(xué)溶液,除去不用的矽圓一部分。
現階段在我國光刻技術和蝕刻機的發展趨(qū)勢(shì)非常尷尬,歸(guī)屬(shǔ)於比(bǐ)較嚴重兩極分化的狀況,中微半導體7nm蝕刻機的批(pī)量生產,立(lì)即邁進全球隊伍,5nm蝕刻機也在試驗環節,在(zài)這裏兩條道路上,蝕刻機要繼續努力,而光刻技(jì)術則必須奮起直追。
河北瑞(ruì)思特電子科技(jì)有限公司是專業從事軍工、航天領域高端電鍍設備、精密蝕刻設備,陽極氧化設備、五金蝕刻機及配(pèi)套廢水處理和廢氣治理環(huán)保設備的五金(jīn)蝕刻設備廠家。
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